张振生 副教授 重大科学仪器

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张振生

副教授

重大科学仪器创新中心

E-mail: zhangzs@sustc.edu.cn


张振生,北京大学凝聚态物理专业博士(2006)。2016年8月入职南方科技大学物理系,研究副教授,主要研究方向为量子芯片研究和科学仪器研发与产业化。曾在科学仪器公司担任系统设计工程师,参与国家科技部重大专项等项目,十余年大型科学仪器研发和产业化经验,其参与研制的光学测量设备已批量应用在国内外集成电路制造生产线。


承担科研项目情况

2017年深圳市创新环境建设计划重点实验室    深圳市量子科学与工程重点实验室(参与)

2017年深圳市基础研究(学科布局)基20170175 基于超导量子线路的量子计算和量子模拟研究(参与)

2011年国家科技部科技重大专项45-22nm 全自动光学图形缺陷检测设备研发与产业化(参与)

2009年国家科技部科技重大专项集成电路生产全自动光学测量设备研发与应用(参与)


发明专利

[1]张振生, 施耀明,孙冬梅, 陈慧萍, 基于前值的关键尺寸测量方法和设备, 2015, 中国专利CN201510323992.6.

[2]张振生, 徐益平, 施耀明, 刘志钧, 王鑫, 黄鲲, 一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置, 2013, 中国专利CN201310751023.1.

[3]张振生, 徐益平, 施耀明, 刘志钧, 王鑫, 黄鲲, 一种用于提高理论光谱数据库创建速度的方法及装置, 2013, 中国专利CN201310505175.3. 

[4]张振生, 史丹丹, 徐益平, 施耀明, 王鑫, 一种用于获取样品参数信息的匹配方法和装置, 2013, 中国专利CN201310629919.2.

[5]王鑫, 张振生, 施耀明, 徐益平, 确定测量模式和光学系统参数容差的方法和装置,2014, 中国专利CN201410542475.3.

[6]王鑫, 张振生, 施耀明, 徐益平, 一种用于优化光学系统参数的方法和装置,2014, 中国专利CN201410542473.4.

[7]王鑫, 张振生, 施耀明, 徐益平, 一种在OCD测量中用于筛选波段的方法和装置, 2014, 中国专利CN201410042262.4.

[8]王鑫, 施耀明, 张振生, 徐益平, 用于光学关键尺寸测量的方法及装置, 2014, 中国专利CN201410234193.7.

[9]施耀明, 刘国祥, 张振生, 刘志钧, 徐益平, 光学关键尺寸检测设备中用户自定义轮廓的方法, 2011, 中国专利CN201110032938.8

[10]施耀明, 刘国祥, 张振生, 刘志钧, 徐益平, 一种用于计算周期性介质傅立叶系数的方法, 2011, 中国专利CN201110321325.6. 

[11]刘国祥, 张振生, 刘志钧, 施耀明, 徐益平, 一种快速确定微细周期结构形貌参数的方法及设备, 2010, 中国专利CN201010619446.4.


代表论文

[1]Z. S. Zhang, H. P. Chen, et al., Sensitivity Study and Parameter Optimization of OCD Tool for 14 nm FinFET Process, Proc of SPIE, 9778-121 (2016).

[2]Z. S. Zhang, Y. Huang, et al., Optical Critical Dimension Measurement For Source/Drain Structures At Advanced Node, CSTIC.2016.7464084. IEEE Conference Publications (2016).

[3]Z. S. Zhang, X. Wang, et al., OCD Measurement with the Illuminated Light Spot Size Being Larger than the Grating Region, ECS Transactions, 52(1): 819-823  (2013).

[4]Z. S. Zhang, Y. Huang, et al., Critical Dimension Measurement Using OCD Spectroscopy for Gate and STI AEI Structures. ECS Transactions, 44(1): 1169-1174 (2012).

[5]Z. S. Zhang, B. Zhang, et. al., Effects Of Symmetry Of GaN-Based Two-Dimensional Photonic Crystal With Quasicrystal Lattices On Enhancement Of Surface Light Extraction, Applied Physics Letters, 88, 17,171103 (2006). 

[6]G. Y. Jing,H. L. Duan, X. M. Sun, Z. S. Zhang, J. Xu,1 Y. D. Li, J. X. Wang, and D. P. Yu, Surface effects on elastic properties of silver nanowires: Contact atomic-force microscopy, PHYSICAL REVIEW B 73, 235409 (2006).

[7]Z. S. Zhang, B. Zhang, et al., Spatial Mapping On Surface Light Extraction From 2D Photonic Quasicrystals Patterned GaN‐Based Light Emitters. Physica Status Solidi (c), 2007, 4(1): 100-103. 

[8]Jia, H. B., Zhang, Y., Chen, X. H., Shu, J., Luo, X. H., Zhang, Z. S. & Yu, D. P. Efficient field emission from single crystalline indium oxide pyramids. Applied Physics Letters 82, 4146-4148 (2003).